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          上海尚文潔凈化工程有限公司
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          電子廠(chǎng)裝修-光學(xué)微電子凈化工程如何規劃合理,看完這篇文章或許能幫到您!

          發(fā)布時(shí)間:2021-12-08 訪(fǎng)問(wèn)量:253

          光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。



          光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。


          光學(xué)微電子凈化工程一般包括:

          1、 潔凈生產(chǎn)區

          2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

          3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

          4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


          光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

          氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌

          等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復以上過(guò)程,即可達到凈化目的。


          光學(xué)微電子凈化工程凈化參數

          換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa

          平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。

          溫度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

          噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。


          光學(xué)微電子凈化工程結構材料

          1. 凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。

          2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。

          3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

          4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。


          光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

          凈化工程的設計過(guò)程中,應加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠(chǎng)房改造工程,并結合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠(chǎng)家的經(jīng)濟承受能力,綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個(gè)能滿(mǎn)足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟節能實(shí)用的方案。(無(wú)塵室 www.iwuchen.com)


          1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口

          這是一個(gè)最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。


          優(yōu)點(diǎn):

          A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過(guò)集中處理,在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;

          B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠(chǎng)房;

          C.空調冷熱源可與廠(chǎng)房普通空調系統合用或獨立冷熱源;

          D.維修頻率較低;

          E.車(chē)間的噪音低。


          缺點(diǎn):

          A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠(chǎng)房改造項目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30m的機房的;

          B.造價(jià)高。

          特點(diǎn):

          A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

          C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬(wàn)級、十萬(wàn)級等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。


          2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

          與前種方案比較,這是相對比較簡(jiǎn)單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房?jì)然騼艋?chē)間內,增壓風(fēng)柜也可以布置于機房?jì)然虻踉跈C房?jì)然蛟趭A層內。


          優(yōu)點(diǎn):

          A.空氣處理效果較好的,處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;

          B.布置靈活。自帶冷源;

          C.大小廠(chǎng)房、新舊廠(chǎng)房都適用;

          D.維修頻率較低;

          E.車(chē)間噪音低。


          缺點(diǎn):

          A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

          B.空調機組與空調處理機組要集中布置;

          C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。


          3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調柜機++FFU送風(fēng)口

          這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車(chē)間內,并用彩鋼圍護起來(lái),在柜機回風(fēng)

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